國(guó)科發(fā)資〔2019〕205號(hào)
各省、自治區(qū)、直轄市及計(jì)劃單列市科技廳（委、局），新疆生產(chǎn)建設(shè)兵團(tuán)科技局，國(guó)務(wù)院各有關(guān)部門(mén)科技主管司局，各有關(guān)單位：
根據(jù)國(guó)務(wù)院印發(fā)的《關(guān)于深化中央財(cái)政科技計(jì)劃（專(zhuān)項(xiàng)、基金等）管理改革的方案》（國(guó)發(fā)〔2014〕64號(hào)）的總體部署，按照國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃組織管理的相關(guān)要求，現(xiàn)將“智能機(jī)器人”等重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)2019年度項(xiàng)目申報(bào)指南予以公布。請(qǐng)根據(jù)指南要求組織項(xiàng)目申報(bào)工作。有關(guān)事項(xiàng)通知如下。
一、項(xiàng)目組織申報(bào)工作流程
1. 申報(bào)單位根據(jù)指南支持方向的研究?jī)?nèi)容以項(xiàng)目形式組織申報(bào)，項(xiàng)目可下設(shè)課題。項(xiàng)目應(yīng)整體申報(bào)，須覆蓋相應(yīng)指南方向的全部考核指標(biāo)。項(xiàng)目申報(bào)單位推薦1名科研人員作為項(xiàng)目負(fù)責(zé)人，每個(gè)課題設(shè)1名負(fù)責(zé)人，項(xiàng)目負(fù)責(zé)人可擔(dān)任其中1個(gè)課題的負(fù)責(zé)人。
2. 項(xiàng)目的組織實(shí)施應(yīng)整合集成全國(guó)相關(guān)領(lǐng)域的優(yōu)勢(shì)創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)，聚焦研發(fā)問(wèn)題，強(qiáng)化基礎(chǔ)研究、共性關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)和典型應(yīng)用示范各項(xiàng)任務(wù)間的統(tǒng)籌銜接，集中力量，聯(lián)合攻關(guān)。
3. 國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目申報(bào)評(píng)審采取填寫(xiě)預(yù)申報(bào)書(shū)、正式申報(bào)書(shū)兩步進(jìn)行，具體工作流程如下。
——項(xiàng)目申報(bào)單位根據(jù)指南相關(guān)申報(bào)要求，通過(guò)國(guó)家科技管理信息系統(tǒng)填寫(xiě)并提交3000字左右的項(xiàng)目預(yù)申報(bào)書(shū)，詳細(xì)說(shuō)明申報(bào)項(xiàng)目的目標(biāo)和指標(biāo)，簡(jiǎn)要說(shuō)明創(chuàng)新思路、技術(shù)路線和研究基礎(chǔ)。從指南發(fā)布日到預(yù)申報(bào)書(shū)受理截止日不少于50天。
——項(xiàng)目牽頭申報(bào)單位應(yīng)與所有參與單位簽署聯(lián)合申報(bào)協(xié)議，并明確協(xié)議簽署時(shí)間；項(xiàng)目牽頭申報(bào)單位、課題申報(bào)單位、項(xiàng)目負(fù)責(zé)人及課題負(fù)責(zé)人須簽署誠(chéng)信承諾書(shū)，項(xiàng)目牽頭申報(bào)單位及所有參與單位要落實(shí)《關(guān)于進(jìn)一步加強(qiáng)科研誠(chéng)信建設(shè)的若干意見(jiàn)》要求，加強(qiáng)對(duì)申報(bào)材料審核把關(guān)，杜絕夸大不實(shí)，甚至弄虛作假。
——各推薦單位加強(qiáng)對(duì)所推薦的項(xiàng)目申報(bào)材料審核把關(guān)，按時(shí)將推薦項(xiàng)目通過(guò)國(guó)家科技管理信息系統(tǒng)統(tǒng)一報(bào)送。
——專(zhuān)業(yè)機(jī)構(gòu)受理項(xiàng)目預(yù)申報(bào)。為確保合理的競(jìng)爭(zhēng)度，對(duì)于非定向申報(bào)的單個(gè)指南方向，若申報(bào)團(tuán)隊(duì)數(shù)量不多于擬支持的項(xiàng)目數(shù)量，該指南方向不啟動(dòng)后續(xù)項(xiàng)目評(píng)審立項(xiàng)程序，擇期重新研究發(fā)布指南。
——專(zhuān)業(yè)機(jī)構(gòu)組織形式審查，并根據(jù)申報(bào)情況開(kāi)展首輪評(píng)審工作。首輪評(píng)審不需要項(xiàng)目負(fù)責(zé)人進(jìn)行答辯。根據(jù)專(zhuān)家的評(píng)審結(jié)果，遴選出3~4倍于擬立項(xiàng)數(shù)量的申報(bào)項(xiàng)目，進(jìn)入答辯評(píng)審。對(duì)于未進(jìn)入答辯評(píng)審的申報(bào)項(xiàng)目，及時(shí)將評(píng)審結(jié)果反饋?lái)?xiàng)目申報(bào)單位和負(fù)責(zé)人。
——申報(bào)單位在接到專(zhuān)業(yè)機(jī)構(gòu)關(guān)于進(jìn)入答辯評(píng)審的通知后，通過(guò)國(guó)家科技管理信息系統(tǒng)填寫(xiě)并提交項(xiàng)目正式申報(bào)書(shū)。正式申報(bào)書(shū)受理時(shí)間為30天。
——專(zhuān)業(yè)機(jī)構(gòu)對(duì)進(jìn)入答辯評(píng)審的項(xiàng)目申報(bào)書(shū)進(jìn)行形式審查，并組織答辯評(píng)審。申報(bào)項(xiàng)目的負(fù)責(zé)人通過(guò)網(wǎng)絡(luò)視頻進(jìn)行報(bào)告答辯。根據(jù)專(zhuān)家評(píng)議情況擇優(yōu)立項(xiàng)。對(duì)于支持1~2項(xiàng)的指南方向，原則上只支持1項(xiàng)，如答辯評(píng)審結(jié)果前兩位的申報(bào)項(xiàng)目評(píng)價(jià)相近，且技術(shù)路線明顯不同，可同時(shí)立項(xiàng)支持，并建立動(dòng)態(tài)調(diào)整機(jī)制，結(jié)合過(guò)程管理開(kāi)展中期評(píng)估，根據(jù)評(píng)估結(jié)果確定后續(xù)支持方式。
二、組織申報(bào)的推薦單位
1. 國(guó)務(wù)院有關(guān)部門(mén)科技主管司局；
2. 各省、自治區(qū)、直轄市、計(jì)劃單列市及新疆生產(chǎn)建設(shè)兵團(tuán)科技主管部門(mén)；
3. 原工業(yè)部門(mén)轉(zhuǎn)制成立的行業(yè)協(xié)會(huì)；
4. 納入科技部試點(diǎn)范圍并且評(píng)估結(jié)果為A類(lèi)的產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟，以及納入科技部、財(cái)政部開(kāi)展的科技服務(wù)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展行業(yè)試點(diǎn)聯(lián)盟。
各推薦單位應(yīng)在本單位職能和業(yè)務(wù)范圍內(nèi)推薦，并對(duì)所推薦項(xiàng)目的真實(shí)性等負(fù)責(zé)。國(guó)務(wù)院有關(guān)部門(mén)推薦與其有業(yè)務(wù)指導(dǎo)關(guān)系的單位，行業(yè)協(xié)會(huì)和產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟、科技服務(wù)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展行業(yè)試點(diǎn)聯(lián)盟推薦其會(huì)員單位，省級(jí)科技主管部門(mén)推薦其行政區(qū)劃內(nèi)的單位。推薦單位名單在國(guó)家科技管理信息系統(tǒng)公共服務(wù)平臺(tái)上公開(kāi)發(fā)布。
三、申報(bào)資格要求
1. 項(xiàng)目牽頭申報(bào)單位和參與單位應(yīng)為中國(guó)大陸境內(nèi)注冊(cè)的科研院所、高等學(xué)校和企業(yè)等，具有獨(dú)立法人資格，注冊(cè)時(shí)間為2018年5月31日前，有較強(qiáng)的科技研發(fā)能力和條件，運(yùn)行管理規(guī)范。國(guó)家機(jī)關(guān)不得牽頭或參與申報(bào)。
項(xiàng)目牽頭申報(bào)單位、項(xiàng)目參與單位以及項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)成員誠(chéng)信狀況良好，無(wú)在懲戒執(zhí)行期內(nèi)的科研嚴(yán)重失信行為記錄和相關(guān)社會(huì)領(lǐng)域信用“黑名單”記錄。
申報(bào)單位同一個(gè)項(xiàng)目只能通過(guò)單個(gè)推薦單位申報(bào)，不得多頭申報(bào)和重復(fù)申報(bào)。
2. 項(xiàng)目（課題）負(fù)責(zé)人須具有高級(jí)職稱(chēng)或博士學(xué)位，1959年1月1日以后出生，每年用于項(xiàng)目的工作時(shí)間不得少于6個(gè)月。
3. 項(xiàng)目（課題）負(fù)責(zé)人原則上應(yīng)為該項(xiàng)目（課題）主體研究思路的提出者和實(shí)際主持研究的科技人員。中央和地方各級(jí)國(guó)家機(jī)關(guān)的公務(wù)人員（包括行使科技計(jì)劃管理職能的其他人員）不得申報(bào)項(xiàng)目（課題）。
4. 項(xiàng)目（課題）負(fù)責(zé)人限申報(bào)1個(gè)項(xiàng)目（課題）；國(guó)家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展計(jì)劃（973計(jì)劃，含重大科學(xué)研究計(jì)劃）、國(guó)家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃（863計(jì)劃）、國(guó)家科技支撐計(jì)劃、國(guó)家國(guó)際科技合作專(zhuān)項(xiàng)、國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專(zhuān)項(xiàng)、公益性行業(yè)科研專(zhuān)項(xiàng)（以下簡(jiǎn)稱(chēng)改革前計(jì)劃）以及國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)、國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)在研項(xiàng)目（含任務(wù)或課題）負(fù)責(zé)人不得牽頭申報(bào)項(xiàng)目（課題）。國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)的在研項(xiàng)目負(fù)責(zé)人（不含任務(wù)或課題負(fù)責(zé)人）也不得參與申報(bào)項(xiàng)目（課題）。
項(xiàng)目（課題）負(fù)責(zé)人、項(xiàng)目骨干的申報(bào)項(xiàng)目（課題）和改革前計(jì)劃、國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)、國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃在研項(xiàng)目（課題）總數(shù)不得超過(guò)2個(gè)；改革前計(jì)劃、國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)、國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃的在研項(xiàng)目（含任務(wù)或課題）負(fù)責(zé)人不得因申報(bào)國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)項(xiàng)目（課題）而退出目前承擔(dān)的項(xiàng)目（含任務(wù)或課題）。國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃的在研項(xiàng)目（含任務(wù)或課題）負(fù)責(zé)人和項(xiàng)目骨干退出項(xiàng)目研發(fā)團(tuán)隊(duì)后，在原項(xiàng)目執(zhí)行期內(nèi)原則上不得牽頭或參與申報(bào)新的國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目。
計(jì)劃任務(wù)書(shū)執(zhí)行期（包括延期后的執(zhí)行期）到2019年12月31日之前的在研項(xiàng)目（含任務(wù)或課題）不在限項(xiàng)范圍內(nèi)。
5. 特邀咨評(píng)委委員不能申報(bào)項(xiàng)目（課題）；參與重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)實(shí)施方案或本年度項(xiàng)目指南編制的專(zhuān)家，不能申報(bào)該重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)項(xiàng)目（課題）。
6. 受聘于內(nèi)地單位的外籍科學(xué)家及港、澳、臺(tái)地區(qū)科學(xué)家可作為重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)的項(xiàng)目（課題）負(fù)責(zé)人，全職受聘人員須由內(nèi)地聘用單位提供全職聘用的有效材料，非全職受聘人員須由內(nèi)地聘用單位和境外單位同時(shí)提供聘用的有效材料，并隨紙質(zhì)項(xiàng)目預(yù)申報(bào)書(shū)一并報(bào)送。
7. 申報(bào)項(xiàng)目受理后，原則上不能更改申報(bào)單位和負(fù)責(zé)人。
8. 項(xiàng)目的具體申報(bào)要求，詳見(jiàn)各重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)的申報(bào)指南。
各申報(bào)單位在正式提交項(xiàng)目申報(bào)書(shū)前可利用國(guó)家科技管理信息系統(tǒng)公共服務(wù)平臺(tái)查詢(xún)相關(guān)科研人員承擔(dān)改革前計(jì)劃和國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)、國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)在研項(xiàng)目（含任務(wù)或課題）情況，避免重復(fù)申報(bào)。
四、具體申報(bào)方式
1. 網(wǎng)上填報(bào)。請(qǐng)各申報(bào)單位按要求通過(guò)國(guó)家科技管理信息系統(tǒng)公共服務(wù)平臺(tái)進(jìn)行網(wǎng)上填報(bào)。項(xiàng)目管理專(zhuān)業(yè)機(jī)構(gòu)將以網(wǎng)上填報(bào)的申報(bào)書(shū)作為后續(xù)形式審查、項(xiàng)目評(píng)審的依據(jù)。預(yù)申報(bào)書(shū)格式在國(guó)家科技管理信息系統(tǒng)公共服務(wù)平臺(tái)相關(guān)專(zhuān)欄下載。
項(xiàng)目申報(bào)單位網(wǎng)上填報(bào)預(yù)申報(bào)書(shū)的受理時(shí)間為：2019年7月10日8:00至8月9日16:00。進(jìn)入答辯評(píng)審環(huán)節(jié)的申報(bào)項(xiàng)目，由申報(bào)單位按要求填報(bào)正式申報(bào)書(shū)，并通過(guò)國(guó)家科技管理信息系統(tǒng)提交，具體時(shí)間和有關(guān)要求另行通知。
國(guó)家科技管理信息系統(tǒng)公共服務(wù)平臺(tái)：
http://service.most.gov.cn；
技術(shù)咨詢(xún)電話：010-58882999（中繼線）；
技術(shù)咨詢(xún)郵箱：program@istic.ac.cn。
2. 組織推薦。請(qǐng)各推薦單位于2019年8月14日前（以寄出時(shí)間為準(zhǔn)），將加蓋推薦單位公章的推薦函（紙質(zhì)，一式2份）、推薦項(xiàng)目清單（紙質(zhì)，一式2份）寄送中國(guó)科學(xué)技術(shù)信息研究所。推薦項(xiàng)目清單須通過(guò)系統(tǒng)直接生成打印。
寄送地址：北京市海淀區(qū)復(fù)興路15號(hào)中信所170室，郵編：100038。
聯(lián)系電話：010-58882171。
3. 材料報(bào)送和業(yè)務(wù)咨詢(xún)。請(qǐng)各申報(bào)單位于2019年8月14日前（以寄出時(shí)間為準(zhǔn)），將加蓋申報(bào)單位公章的預(yù)申報(bào)書(shū)（紙質(zhì)，一式2份），寄送至承擔(dān)項(xiàng)目所屬重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)管理的專(zhuān)業(yè)機(jī)構(gòu)。項(xiàng)目預(yù)申報(bào)書(shū)須通過(guò)系統(tǒng)直接生成打印。
各重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)的咨詢(xún)電話及寄送地址如下。
（1）“智能機(jī)器人”重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)咨詢(xún)電話：010-68104402、68104487；
（2）“現(xiàn)代服務(wù)業(yè)共性關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)及應(yīng)用示范”重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)咨詢(xún)電話：010-88377340；
（3）“綜合交通運(yùn)輸與智能交通”重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)咨詢(xún)電話：010-68104462；
（4）“網(wǎng)絡(luò)協(xié)同制造和智能工廠”重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)咨詢(xún)電話：010-68104423。
寄送地址：北京市海淀區(qū)三里河路一號(hào)西苑飯店九號(hào)樓科學(xué)技術(shù)部高技術(shù)研究發(fā)展中心（計(jì)劃與監(jiān)督處），郵編：100044。
（5）“制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件”重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)咨詢(xún)電話：010-68207732、68207731；
（6）“物聯(lián)網(wǎng)與智慧城市關(guān)鍵技術(shù)及示范”重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)咨詢(xún)電話：010-68208208、68207769。
寄送地址：北京市海淀區(qū)萬(wàn)壽路27號(hào)院8號(hào)樓11層工業(yè)和信息化部產(chǎn)業(yè)發(fā)展促進(jìn)中心，郵編：100846。
附件：
1.“智能機(jī)器人”重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)2019年度項(xiàng)目申報(bào)指南（形式審查條件要求、指南編制專(zhuān)家名單）
2.“現(xiàn)代服務(wù)業(yè)共性關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)及應(yīng)用示范”重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)2019年度項(xiàng)目申報(bào)指南（形式審查條件要求、指南編制專(zhuān)家名單）
3.“綜合交通運(yùn)輸與智能交通”重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)2019年度項(xiàng)目申報(bào)指南（形式審查條件要求、指南編制專(zhuān)家名單）
4.“網(wǎng)絡(luò)協(xié)同制造和智能工廠”重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)2019年度項(xiàng)目申報(bào)指南（形式審查條件要求、指南編制專(zhuān)家名單）
5.“制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件”重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)2019年度項(xiàng)目申報(bào)指南（形式審查條件要求、指南編制專(zhuān)家名單）
6.“物聯(lián)網(wǎng)與智慧城市關(guān)鍵技術(shù)及示范”重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)2019年度項(xiàng)目申報(bào)指南（形式審查條件要求、指南編制專(zhuān)家名單）
科 技 部
附件5 “ 制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件” 重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)2019 年度項(xiàng)目申報(bào)指南
為落實(shí)《國(guó)家中長(zhǎng)期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要（2006—2020 年）》《國(guó)家創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展戰(zhàn)略綱要》和《中國(guó)制造2025 》等規(guī)劃， 國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃啟動(dòng)實(shí)施“ 制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件” 重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)。根據(jù)本重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)實(shí)施方案的部署， 現(xiàn)發(fā)布2019 年度項(xiàng)目指南。
本重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)總體目標(biāo)是： 以高速精密重載智能軸承、高端液壓與密封件、高性能齒輪傳動(dòng)及系統(tǒng)、先進(jìn)傳感器、高端儀器儀表以及先進(jìn)鑄造、清潔熱處理、表面工程、清潔切削等基礎(chǔ)工藝為重點(diǎn)， 著力開(kāi)展基礎(chǔ)前沿技術(shù)研究， 突破一批行業(yè)共性關(guān)鍵技術(shù)， 提升基礎(chǔ)保障能力。加強(qiáng)基礎(chǔ)數(shù)據(jù)庫(kù)、工業(yè)性驗(yàn)證平臺(tái)、核心技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)研究， 為提升關(guān)鍵部件和基礎(chǔ)工藝的技術(shù)水平奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。
通過(guò)本專(zhuān)項(xiàng)的實(shí)施， 進(jìn)一步夯實(shí)制造技術(shù)基礎(chǔ)， 掌握關(guān)鍵基礎(chǔ)件、基礎(chǔ)制造工藝、先進(jìn)傳感器和高端儀器儀表的核心技術(shù)， 提高基礎(chǔ)制造技術(shù)和關(guān)鍵部件行業(yè)的自主創(chuàng)新能力； 大幅度提高交通、航空航天、數(shù)控機(jī)床、大型工程機(jī)械、農(nóng)業(yè)機(jī)械、重型礦山設(shè)備、新能源裝備等重點(diǎn)領(lǐng)域和重大成套裝備自主配套能力， 強(qiáng)有力地支撐制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)。
本重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)按照產(chǎn)業(yè)鏈部署創(chuàng)新鏈的要求，從基礎(chǔ)前沿技術(shù)、共性關(guān)鍵技術(shù)、應(yīng)用示范三個(gè)層面， 圍繞關(guān)鍵基礎(chǔ)件、基礎(chǔ)制造工藝、先進(jìn)傳感器、高端儀器儀表和基礎(chǔ)技術(shù)保障五個(gè)方向部署實(shí)施。專(zhuān)項(xiàng)實(shí)施周期為5 年（2018—2022 年）。
2019 年指南在五個(gè)方向， 按照基礎(chǔ)前沿技術(shù)類(lèi)、共性關(guān)鍵技術(shù)類(lèi)和應(yīng)用示范類(lèi)， 擬啟動(dòng)不少于28 個(gè)項(xiàng)目， 安排國(guó)撥經(jīng)費(fèi)總概算約4.5 億元。為充分調(diào)動(dòng)社會(huì)資源投入制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件的技術(shù)創(chuàng)新， 在配套經(jīng)費(fèi)方面， 共性關(guān)鍵技術(shù)類(lèi)項(xiàng)目， 配套經(jīng)費(fèi)與國(guó)撥經(jīng)費(fèi)比例不低于1:1； 應(yīng)用示范類(lèi)項(xiàng)目， 配套經(jīng)費(fèi)與國(guó)撥經(jīng)費(fèi)比例不低于2:1 。
項(xiàng)目申報(bào)統(tǒng)一按指南二級(jí)標(biāo)題（ 如1.1） 的研究方向申報(bào)。每個(gè)項(xiàng)目擬支持?jǐn)?shù)為1~2 項(xiàng)， 實(shí)施周期不超過(guò)3 年。申報(bào)項(xiàng)目的研究?jī)?nèi)容必須涵蓋二級(jí)標(biāo)題下指南所列的全部研究?jī)?nèi)容和考核指標(biāo)?；A(chǔ)前沿技術(shù)類(lèi)項(xiàng)目下設(shè)課題數(shù)不超過(guò)4 個(gè)， 項(xiàng)目參研單位不超過(guò)6 個(gè)； 共性關(guān)鍵技術(shù)類(lèi)和應(yīng)用示范類(lèi)項(xiàng)目下設(shè)課題數(shù)不超過(guò)5 個(gè)， 項(xiàng)目參研單位不超過(guò)10 個(gè)。項(xiàng)目設(shè)1 名項(xiàng)目負(fù)責(zé)人， 項(xiàng)目中每個(gè)課題設(shè)1 名課題負(fù)責(zé)人。
指南中“ 每個(gè)項(xiàng)目擬支持?jǐn)?shù)為1~2 項(xiàng)” 是指： 在同一研究方向下， 當(dāng)出現(xiàn)申報(bào)項(xiàng)目評(píng)審結(jié)果前兩位評(píng)價(jià)相近、技術(shù)路線明顯不同的情況時(shí)， 可同時(shí)支持這2 個(gè)項(xiàng)目。2 個(gè)項(xiàng)目將采取分兩個(gè)階段支持的方式。第一階段完成后將對(duì)2 個(gè)項(xiàng)目執(zhí)行情況進(jìn)行評(píng)估， 根據(jù)評(píng)估結(jié)果確定后續(xù)支持方式。
1. 基礎(chǔ)前沿技術(shù)類(lèi)
1.1 多維融合感知智能軸承基礎(chǔ)原理與方法
研究?jī)?nèi)容： 研究智能軸承集成優(yōu)化設(shè)計(jì)理論與方法； 研究智能軸承集成感知機(jī)制與多維數(shù)據(jù)融合算法； 研究智能軸承寬頻高效自供電/無(wú)線供電原理與設(shè)計(jì)方法； 研究智能軸承信息的高效、低功耗、高可靠傳輸原理與處理技術(shù)； 研制多維融合感知智能軸承樣機(jī)， 并在數(shù)控機(jī)床、風(fēng)電、軌道交通等行業(yè)開(kāi)展試驗(yàn)驗(yàn)證。
考核指標(biāo)： 開(kāi)發(fā)面向數(shù)控機(jī)床、風(fēng)電和軌道交通等領(lǐng)域的智能軸承原理樣機(jī)3 類(lèi)， 其中至少1 類(lèi)具備自供電/無(wú)線供電功能； 典型故障檢測(cè)類(lèi)型≥3 類(lèi)，識(shí)別率≥90%；溫度范圍-50℃～300℃， 精度優(yōu)于1%； 振動(dòng)范圍±100g 、±300g 、±500g（ 各行業(yè)選1 項(xiàng)）， 精度優(yōu)于1%； 載荷范圍0～100kN 、0～500kN 、0～1000kN（ 各行業(yè)選1 項(xiàng)）， 精度分別優(yōu)于1% 、2% 、3%； 申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥3 項(xiàng)。
1.2 高性能軸承動(dòng)態(tài)和漸變可靠性設(shè)計(jì)理論
研究?jī)?nèi)容： 研究滾動(dòng)軸承漸變劣化（ 如疲勞和磨損等） 規(guī)律和內(nèi)外部振動(dòng)行為； 研究漸變失效和振動(dòng)效應(yīng)交互影響機(jī)理， 建立動(dòng)態(tài)和漸變可靠性設(shè)計(jì)模型及相關(guān)理論； 研究滾動(dòng)軸承可靠性設(shè)計(jì)技術(shù)及試驗(yàn)測(cè)試裝置， 并開(kāi)展相關(guān)試驗(yàn)。
考核指標(biāo)： 開(kāi)發(fā)滾動(dòng)軸承可靠性設(shè)計(jì)方法1 套； 構(gòu)建滾動(dòng)軸承的故障模式、失效案例、可靠性設(shè)計(jì)的數(shù)據(jù)庫(kù)， 覆蓋疲勞、磨損、振動(dòng)失效模式和可靠性設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)10 種以上； 可靠性試驗(yàn)測(cè)試裝置1 套， 完成3 種典型產(chǎn)品的可靠性試驗(yàn)； 申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥ 3 項(xiàng)。
1.3 液壓元件及系統(tǒng)智能化基礎(chǔ)技術(shù)
研究?jī)?nèi)容： 研究電液深度融合的智能液壓元件及動(dòng)力單元， 探索液壓元件內(nèi)部流量、壓力、溫度和位移等信息的集成測(cè)量新技術(shù)； 研究多液阻獨(dú)立控制的離散型液壓元件的強(qiáng)非線性控制與適應(yīng)調(diào)節(jié)機(jī)制；研究液壓元件及動(dòng)力單元的服役性能與壽命預(yù)測(cè)、典型應(yīng)用案例的安全風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估方法。
考核指標(biāo)： 工業(yè)用有線或無(wú)線可編程電調(diào)制液壓閥樣機(jī)2 種以上， 具備介質(zhì)的流量、壓力、溫度等測(cè)量功能， 綜合測(cè)量精度優(yōu)于1%； 液阻離散獨(dú)立的智能液壓閥控制器、液壓閥樣機(jī)及測(cè)量系統(tǒng)， 系統(tǒng)控制精度優(yōu)于3%； 動(dòng)力單元具有在線狀態(tài)監(jiān)測(cè)、故障診斷、服役性能與壽命預(yù)測(cè)等功能， 故障診斷覆蓋率不低于80%； 申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥3 項(xiàng)。
1.4 齒輪傳動(dòng)系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)基礎(chǔ)理論及其健康監(jiān)測(cè)
研究?jī)?nèi)容： 研究齒輪傳動(dòng)系統(tǒng)非線性動(dòng)力學(xué)特性、幾何與運(yùn)動(dòng)誤差回溯、振動(dòng)噪聲預(yù)估與主動(dòng)控制理論與方法； 研究齒輪性能退化規(guī)律和典型損傷機(jī)理、監(jiān)測(cè)信號(hào)解耦及故障診斷方法， 建立多維監(jiān)測(cè)參數(shù)特征與健康狀態(tài)的映射關(guān)系； 開(kāi)發(fā)傳動(dòng)系統(tǒng)健康狀態(tài)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)， 并在風(fēng)電等領(lǐng)域進(jìn)行試驗(yàn)驗(yàn)證。
考核指標(biāo)： 建立齒輪傳動(dòng)系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)優(yōu)化方法， 完成不少于1 種產(chǎn)品動(dòng)力學(xué)優(yōu)化； 開(kāi)發(fā)傳動(dòng)動(dòng)力學(xué)仿真軟件1 套， 仿真精度不低于85%； 研制傳動(dòng)系統(tǒng)健康監(jiān)測(cè)樣機(jī)1 套， 故障監(jiān)測(cè)準(zhǔn)確度不低于90%； 申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥2 項(xiàng)。
1.5 新型高性能精密齒輪傳動(dòng)基礎(chǔ)理論與技術(shù)
研究?jī)?nèi)容：研究零隙精密傳動(dòng)及大速比傳動(dòng)新原理與新構(gòu)型； 研究相應(yīng)的數(shù)字化設(shè)計(jì)方法、嚙合副復(fù)雜曲面制造關(guān)鍵技術(shù)； 開(kāi)展傳動(dòng)效率、承載能力、溫升、壽命等試驗(yàn)， 并在航空等領(lǐng)域進(jìn)行試驗(yàn)驗(yàn)證。
考核指標(biāo)： 開(kāi)發(fā)新型精密齒輪傳動(dòng)裝置不少于3 種； 新型傳動(dòng)裝置的傳動(dòng)誤差小于60 角秒； 在相同試驗(yàn)條件下， 承載能力、壽命等較現(xiàn)有傳動(dòng)提高20%； 申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥3 項(xiàng)。
1.6 高功率密度微納振動(dòng)能量收集器前沿技術(shù)
研究?jī)?nèi)容： 研究工業(yè)振動(dòng)環(huán)境下， 振動(dòng)摩擦、振動(dòng)壓電、振動(dòng)電磁的高效能量收集轉(zhuǎn)換方法； 研究微納振動(dòng)能量收集器的先進(jìn)材料和高效能量收集結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)技術(shù)； 研究能量存儲(chǔ)及低功耗調(diào)理電路設(shè)計(jì)與系統(tǒng)集成技術(shù)； 研制高功率密度摩擦能量收集器、壓電能量收集器、電磁能量收集器原型器件， 并在工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)無(wú)線傳感網(wǎng)節(jié)點(diǎn)試驗(yàn)驗(yàn)證。
考核指標(biāo)： 振動(dòng)頻率覆蓋1Hz～500Hz， 摩擦能量收集器峰值功率密度≥400μW/mm2， 壓電能量收集器歸一化功率密度≥ 5μW/（ mm3·g2）， 電磁能量收集器歸一化功率密度≥ 0.5μW/ （mm3·g2）； 申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥3 項(xiàng)。
1.7 跨尺度微納米三坐標(biāo)測(cè)量基礎(chǔ)理論與技術(shù)
研究?jī)?nèi)容： 研究三維納米位移和定位的測(cè)量理論與技術(shù)； 研制高分辨力三維組合納米測(cè)頭； 研究微納三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)量值溯源技術(shù)； 研究典型微型零件三維準(zhǔn)確測(cè)量方法及技術(shù)； 研制微納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)樣機(jī)， 在精密微型零件加工和微納制造領(lǐng)域進(jìn)行試驗(yàn)驗(yàn)證。
考核指標(biāo)： 微納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)量程X×Y×Z ≥ 100mm×100mm×100mm； 三維測(cè)量分辨力優(yōu)于1nm； 最大允許誤差（E3）
（250+4.5×10-6L）nm； 實(shí)現(xiàn)寬度低至100μm 的結(jié)構(gòu)內(nèi)尺寸及形狀三維測(cè)量； 申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥2 項(xiàng)。
2. 共性關(guān)鍵技術(shù)類(lèi)
2.1 工業(yè)機(jī)器人減速器軸承關(guān)鍵技術(shù)及工業(yè)驗(yàn)證平臺(tái)
研究?jī)?nèi)容： 研究工業(yè)機(jī)器人減速器軸承的高精度及長(zhǎng)壽命設(shè)計(jì)方法； 研究薄壁及柔性軸承套圈控形控性制造及精密加工工藝研究； 研究工業(yè)機(jī)器人減速器軸承性能和壽命試驗(yàn)驗(yàn)證技術(shù)及裝備； 制定工業(yè)機(jī)器人減速器軸承試驗(yàn)技術(shù)規(guī)范； 搭建工業(yè)機(jī)器人減速器軸承系列產(chǎn)品工業(yè)性驗(yàn)證平臺(tái)， 開(kāi)展系列產(chǎn)品的壽命、摩擦力矩、振動(dòng)、溫升等試驗(yàn)， 研究成果在工業(yè)機(jī)器人上實(shí)現(xiàn)應(yīng)用。
考核指標(biāo)： 開(kāi)發(fā)工業(yè)機(jī)器人減速器軸承設(shè)計(jì)方法1 套；RV 減速器軸承精度達(dá)到P4 級(jí)、試驗(yàn)壽命≥7000 小時(shí)， 諧波減速器軸承精度達(dá)到P4 級(jí)， 試驗(yàn)壽命≥8000 小時(shí)； 平臺(tái)具備80mm～ 260mm 內(nèi)徑軸承的壽命、摩擦力矩、振動(dòng)、溫升等測(cè)試能力； 在5 家以上企業(yè)應(yīng)用， 裝機(jī)系列數(shù)≥6； 申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥3 項(xiàng)， 制定標(biāo)準(zhǔn)或規(guī)范≥2 項(xiàng)。
有關(guān)說(shuō)明： 由企業(yè)牽頭申報(bào)。
2.2 大功率風(fēng)電主軸及增速箱軸承關(guān)鍵技術(shù)及工業(yè)驗(yàn)證平臺(tái)
研究?jī)?nèi)容： 研究大功率風(fēng)電主軸及增速箱軸承的長(zhǎng)壽命、可靠性設(shè)計(jì)分析技術(shù)； 研究抗疲勞制造工藝等軸承控型控性技術(shù)； 研究軸承性能和耐久性強(qiáng)化試驗(yàn)技術(shù)及裝備； 制定大功率風(fēng)電主軸及增速箱軸承試驗(yàn)技術(shù)規(guī)范； 建立大功率風(fēng)電主軸及增速箱軸承系列產(chǎn)品工業(yè)性驗(yàn)證平臺(tái)， 開(kāi)展壽命、振動(dòng)、溫升等性能試驗(yàn)， 研究成果在大功率風(fēng)電機(jī)組上實(shí)現(xiàn)應(yīng)用。
考核指標(biāo)： 開(kāi)發(fā)風(fēng)電主軸及增速箱軸承數(shù)字化設(shè)計(jì)軟件≥1 套；4MW 以上風(fēng)機(jī)主軸及增速箱軸承精度等級(jí)不低于P5， 增速箱高速端軸承溫度≤85℃， 理論壽命、強(qiáng)化試驗(yàn)壽命≥20 年； 應(yīng)用企業(yè)不少于2 家， 裝機(jī)不少于10 臺(tái)套； 平臺(tái)具備200mm～ 1180mm 內(nèi)徑軸承的壽命、振動(dòng)、溫升等性能測(cè)試能力； 申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥3 項(xiàng)， 制定標(biāo)準(zhǔn)或規(guī)范≥2 項(xiàng)。
有關(guān)說(shuō)明： 由企業(yè)牽頭申報(bào)。
2.3 微小型液壓元件關(guān)鍵技術(shù)
研究?jī)?nèi)容： 研究高功率密度電— 機(jī)械轉(zhuǎn)換器、低液動(dòng)力閥口的設(shè)計(jì)和制造工藝； 研究高功率密度液壓泵旋轉(zhuǎn)組件的設(shè)計(jì)和加工工藝； 研究微小型液壓閥和液壓泵的性能測(cè)試方法； 在航空航天、石油裝備等領(lǐng)域進(jìn)行試驗(yàn)驗(yàn)證。
考核指標(biāo)： 研制不少于4 種規(guī)格的高壓微小型液壓泵和液壓閥樣機(jī)， 泵排量≤5mL/r， 閥流量≤5L/min， 響應(yīng)時(shí)間0.5ms～
1.5ms；制定微小型液壓閥和液壓泵性能測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)≥2 項(xiàng)； 開(kāi)發(fā)微
小型液壓閥和液壓泵性能測(cè)試裝備1 套； 申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥3 項(xiàng)。有關(guān)說(shuō)明： 由企業(yè)牽頭申報(bào)， 鼓勵(lì)用戶單位牽頭申報(bào)。
2.4 海工裝備用長(zhǎng)壽命耐腐蝕液壓元件及系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)
研究?jī)?nèi)容： 研究海洋環(huán)境下活塞桿耐腐蝕涂層技術(shù)與工藝； 研究海洋環(huán)境下長(zhǎng)壽命液壓缸密封技術(shù)； 研究液壓控制系統(tǒng)的穩(wěn)定性、工況適應(yīng)性等關(guān)鍵技術(shù)， 在大型海上風(fēng)機(jī)、海洋平臺(tái)升降與波浪補(bǔ)償裝置等海工裝備中驗(yàn)證。
考核指標(biāo)： 缸徑250mm～650mm，活塞桿涂層彎曲疲勞試驗(yàn)≥500 次（ 無(wú)裂紋）， 中性鹽霧實(shí)驗(yàn)時(shí)間≥5000 小時(shí)； 液壓缸無(wú)泄漏運(yùn)行時(shí)間不少于8000 小時(shí)； 研制2 種以上典型海工裝備用液壓系統(tǒng)， 壓力28MPa～35MPa， 運(yùn)動(dòng)速度0.5m/s～4m/s， 定位精度1mm～5mm； 申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥3 項(xiàng)。
有關(guān)說(shuō)明： 由企業(yè)牽頭申報(bào)， 鼓勵(lì)用戶單位牽頭申報(bào)。
2.5 高性能機(jī)械密封關(guān)鍵技術(shù)與工業(yè)試驗(yàn)平臺(tái)
研究?jī)?nèi)容： 研究機(jī)械密封關(guān)鍵元件表面精密成形技術(shù)、先進(jìn)監(jiān)控與檢測(cè)技術(shù)；研究高溫高壓多介質(zhì)機(jī)械密封試驗(yàn)和綜合性能評(píng)估技術(shù)； 研究面向油、水和氣介質(zhì)的機(jī)械密封元件工業(yè)試驗(yàn)平臺(tái)。
考核指標(biāo)： 關(guān)鍵元件表面精密成形樣機(jī)具備實(shí)時(shí)監(jiān)控， 在位檢測(cè)功能， 表面微槽深度誤差不超過(guò)5%， 曲面輪廓誤差≤1μm， 表面粗糙度Ra≤0.1μm； 平臺(tái)可進(jìn)行高溫高壓多介質(zhì)試驗(yàn)， 具備線速度250m/s、溫度500℃、壓力25MPa 、轉(zhuǎn)速50000r/min 的產(chǎn)品試驗(yàn)?zāi)芰Γ?申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥3 項(xiàng)。
有關(guān)說(shuō)明： 由企業(yè)牽頭申報(bào)， 鼓勵(lì)用戶單位牽頭申報(bào)。
2.6 高速重載錐齒輪傳動(dòng)關(guān)鍵技術(shù)
研究?jī)?nèi)容： 研究高速重載弧齒錐齒輪傳動(dòng)的動(dòng)態(tài)設(shè)計(jì)理論， 系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)仿真與結(jié)構(gòu)動(dòng)力學(xué)優(yōu)化； 研究錐齒輪復(fù)雜齒面高效切齒和精密磨齒數(shù)字化仿真技術(shù)及軟件； 研究錐齒輪疲勞壽命加速試驗(yàn)技術(shù)； 在航空傳動(dòng)領(lǐng)域開(kāi)展應(yīng)用驗(yàn)證。
考核指標(biāo)： 開(kāi)發(fā)不少于2 種高速重載弧齒錐齒輪， 至少一種弧齒錐齒輪功率密度≥120kW/kg， 轉(zhuǎn)速≥8000rpm； 齒輪加工精度高于5 級(jí)， 傳動(dòng)效率≥96%， 壽命提高20%； 開(kāi)發(fā)高速重載錐齒輪數(shù)字化制造軟件1 套， 高速重載錐齒輪疲勞壽命試驗(yàn)裝備1 套； 申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥2 項(xiàng)， 制定技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)或規(guī)范≥2 項(xiàng)。
有關(guān)說(shuō)明： 由企業(yè)牽頭申報(bào)， 鼓勵(lì)用戶單位牽頭申報(bào)。
2.7 高長(zhǎng)徑比零件高效清潔熱處理技術(shù)
研究?jī)?nèi)容： 研究高長(zhǎng)徑比零件熱處理應(yīng)力/變形演變規(guī)律、數(shù)值模擬與表面熱處理強(qiáng)化機(jī)理及基礎(chǔ)工藝， 熱處理表面強(qiáng)化層控制技術(shù)； 研究高長(zhǎng)徑比零件高效感應(yīng)熱處理和真空熱處理技術(shù)； 開(kāi)發(fā)高效清潔熱處理裝備， 實(shí)現(xiàn)滾動(dòng)部件等典型高長(zhǎng)徑比零件在微電子制造、航空航天、高端裝備等領(lǐng)域的應(yīng)用驗(yàn)證。
考核指標(biāo)： 高長(zhǎng)徑比零件感應(yīng)熱處理裝備1 套， 可處理零件直徑50mm～200mm 、長(zhǎng)度≥5m， 處理后的零件淬硬層厚度4mm～12mm 、硬度均勻性≤±1HRC 、變形量≤1mm/m； 真空熱處理裝置1 套，最高加熱溫度達(dá)到1350℃，有效加熱區(qū)長(zhǎng)度≥5m， 爐溫均勻性≤±5℃， 壓升率≤2.5×10-1Pa/h， 可實(shí)現(xiàn)零件產(chǎn)品硬度均勻性≤±1.5HRC； 感應(yīng)和真空熱處理及變形控制后的零件表面淬硬層深度均勻性?xún)?yōu)于±0.03mm； 申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥3 項(xiàng)， 制定技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)≥2 項(xiàng)。
有關(guān)說(shuō)明： 由企業(yè)牽頭申報(bào)， 鼓勵(lì)用戶單位牽頭申報(bào)。
2.8 清潔切削共性關(guān)鍵技術(shù)
研究?jī)?nèi)容： 研究高速干切工藝使能關(guān)鍵技術(shù)， 建立基礎(chǔ)數(shù)據(jù)庫(kù)； 研究微量潤(rùn)滑切削與低溫冷卻切削裝置及相關(guān)功能部件； 研究高穩(wěn)定性清潔切削工藝技術(shù)及高生物降解微量潤(rùn)滑切削液； 開(kāi)展航空航天典型材料的清潔切削試驗(yàn)驗(yàn)證。
考核指標(biāo)： 高速干切工藝基礎(chǔ)數(shù)據(jù)庫(kù)涵蓋多種典型材料和工藝， 及其相關(guān)的百種以上工況基礎(chǔ)數(shù)據(jù)； 適用于車(chē)、銑加工工藝的低溫微量潤(rùn)滑裝置及相關(guān)功能部件不少于6 種， 低溫冷卻切削裝置的最低輸出溫度低于-190℃； 清潔切削機(jī)床周邊懸浮顆粒物濃度≤0.5mg/m3； 切削液生物降解率≥95%； 完成不少于3 種典型材料清潔切削試驗(yàn)驗(yàn)證； 申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥3 項(xiàng)， 制定技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)≥2 項(xiàng)。
2.9 硅基MEMS 高深寬比結(jié)構(gòu)無(wú)損測(cè)量技術(shù)研究?jī)?nèi)容： 研究MEMS 高深寬比結(jié)構(gòu)三維幾何特征快速無(wú)損測(cè)量原理和方法； 研究測(cè)量系統(tǒng)設(shè)計(jì)、光學(xué)顯微傳感、微弱信號(hào)采集與處理、校準(zhǔn)與誤差補(bǔ)償、量值溯源等關(guān)鍵技術(shù)； 研制高深寬比三維特征尺寸快速無(wú)損測(cè)量系統(tǒng)， 并在MEMS 工藝線試驗(yàn)驗(yàn)證。
考核指標(biāo)：溝槽深寬比≥20:1，深度測(cè)量范圍10μm～300μm， 深度測(cè)量不確定度≤0.5%（k=1）； 線寬測(cè)量范圍2μm～30μm， 線寬測(cè)量不確定度≤1%（k=1）； 單點(diǎn)測(cè)量時(shí)間≤5s； 申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥2 項(xiàng)。
2.10 硅基MEMS 厚金屬薄膜關(guān)鍵技術(shù)
研究?jī)?nèi)容： 研究硅基MEMS 厚金屬薄膜工藝兼容性，研究高質(zhì)量厚金屬薄膜制造工藝、薄膜特性測(cè)試技術(shù)； 研究硅基厚金屬薄膜MEMS 結(jié)構(gòu)釋放工藝技術(shù)， 研究MEMS 繼電器的高可靠設(shè)計(jì)、制造及封裝等關(guān)鍵技術(shù)； 開(kāi)發(fā)硅基MEMS 厚金屬薄膜成套制造工藝技術(shù)， 在航空航天重大技術(shù)裝備中應(yīng)用。
考核指標(biāo)： 硅基襯底圓片直徑≥150mm， 金屬薄膜厚度≥ 5μm， 薄膜厚度誤差≤±3%， 薄膜應(yīng)力≤150MPa；MEMS 繼電器負(fù)載電流≥500mA， 接觸電阻≤500mΩ， 開(kāi)關(guān)壽命≥1×106 次， 成品率≥85%； 申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥3 項(xiàng)。
有關(guān)說(shuō)明： 由企業(yè)牽頭申報(bào)， 鼓勵(lì)用戶單位牽頭申報(bào)。
2.11 硅基MEMS 氣體傳感器關(guān)鍵技術(shù)
研究?jī)?nèi)容： 研究硅基MEMS 氣體傳感器芯片集成化設(shè)計(jì)技術(shù)； 研究硅基MEMS 紅外光源、光學(xué)微腔、光學(xué)天線、紅外探測(cè)器、溫度傳感器等核心部件與集成制造技術(shù)； 研究標(biāo)校算法、邊緣計(jì)算、ASIC 芯片閉環(huán)控制、環(huán)境效應(yīng)等非色散紅外（NDIR） 氣體檢測(cè)系統(tǒng)集成關(guān)鍵技術(shù)； 實(shí)現(xiàn)傳感器在流程工業(yè)中應(yīng)用。
考核指標(biāo)： 氣體傳感器量程二氧化碳（0～5000ppm）、二氧化硫（0～100ppm）、氮氧化物（0～50ppm）、甲醛（0～100ppm）、丙酮（ 0～ 100ppm）， 測(cè)量誤差≤ ±2% 。系統(tǒng)芯片尺寸≤ 20mm×10mm×5mm， 長(zhǎng)期穩(wěn)定性≤1%FS/年， 制定傳感器規(guī)范或標(biāo)準(zhǔn)≥2 項(xiàng)； 申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥2 項(xiàng)， 至少制定1 項(xiàng)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。
有關(guān)說(shuō)明： 由企業(yè)牽頭申報(bào)， 鼓勵(lì)用戶單位牽頭申報(bào)。
2.12 高性能磁傳感器關(guān)鍵技術(shù)
研究?jī)?nèi)容： 研究并優(yōu)化高性能磁傳感器芯片制造工藝技術(shù)； 研究高性能磁傳感器的高靈敏結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和高可靠封裝技術(shù)； 研究磁編碼器與轉(zhuǎn)速測(cè)量涉及的ASIC 芯片、軟件算法、測(cè)控接口等； 形成制程規(guī)范， 在數(shù)控機(jī)床、工業(yè)機(jī)器人、伺服電機(jī)等裝備應(yīng)用。
考核指標(biāo)： 磁傳感器靈敏度100mV/V/Oe， 本底噪聲≤ 10pT/√Hz@1Hz， 體積≤30mm×30mm×5mm， 成品率≥85%； 伺服電機(jī)磁絕對(duì)位置編碼器精度優(yōu)于0.02°， 成套制程規(guī)范≥2 項(xiàng)； 申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥2 項(xiàng)， 至少制定1 項(xiàng)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。
有關(guān)說(shuō)明： 由企業(yè)牽頭申報(bào)， 鼓勵(lì)用戶單位牽頭申報(bào)。
2.13 儀表專(zhuān)用微控制器芯片設(shè)計(jì)及應(yīng)用關(guān)鍵技術(shù)
研究?jī)?nèi)容： 研究數(shù)據(jù)采集、處理、存儲(chǔ)、通信等高度集成的工業(yè)自動(dòng)化儀表芯片設(shè)計(jì)技術(shù)； 研究針對(duì)高度集成儀表芯片的軟件可重用開(kāi)發(fā)方法， 開(kāi)發(fā)典型功能庫(kù)； 研究?jī)x表高密度集成設(shè)計(jì)
等關(guān)鍵技術(shù)； 將上述芯片應(yīng)用于核心零部件主動(dòng)調(diào)節(jié)的溫度、壓力、流量、電動(dòng)執(zhí)行器等小型化儀表， 并開(kāi)展儀表應(yīng)用驗(yàn)證。
考核指標(biāo)： 微控制器芯片模/數(shù)轉(zhuǎn)換精度不低于16 位， 內(nèi)嵌32 位微處理器， 內(nèi)嵌HART 、FF 、Profibus 等通信控制器； 開(kāi)發(fā)軟件工具包， 支持儀表常用的通信、顯示、采集、校準(zhǔn)、存儲(chǔ)等可重用軟件功能模塊； 完成不少于100 臺(tái)小型化儀表應(yīng)用驗(yàn)證； 申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥5 項(xiàng)。
有關(guān)說(shuō)明： 由企業(yè)牽頭申報(bào)， 鼓勵(lì)用戶單位牽頭申報(bào)。
2.14 多參數(shù)危險(xiǎn)氣體在線分析關(guān)鍵技術(shù)
研究?jī)?nèi)容： 研究在線分析儀器緊湊型核心部件高密度集成技術(shù)； 研究含固、液雜質(zhì)的工業(yè)氣體在線測(cè)量預(yù)處理技術(shù)及裝置； 研究一氧化碳、二氧化碳、氧氣、甲烷、硫化氫、氨氣等多組分氣體濃度、多參量集成測(cè)量技術(shù)； 研制高安全多參數(shù)小型化危險(xiǎn)氣體在線分析儀器； 在典型工業(yè)過(guò)程領(lǐng)域開(kāi)展應(yīng)用示范。
考核指標(biāo)： 工業(yè)主要危險(xiǎn)氣體測(cè)量線性精度優(yōu)于±1%FS； 溫度在線測(cè)量范圍30℃～1500℃， 壓力在線測(cè)量范圍覆蓋0～
0.3MPa；在冶金、石化、化工等兩類(lèi)以上工業(yè)領(lǐng)域的爆炸性氣體
環(huán)境危險(xiǎn)區(qū)域開(kāi)展應(yīng)用示范。有關(guān)說(shuō)明： 由企業(yè)牽頭申報(bào)， 鼓勵(lì)用戶單位牽頭申報(bào)。
2.15 六自由度激光自動(dòng)精準(zhǔn)跟蹤測(cè)量關(guān)鍵技術(shù)
研究?jī)?nèi)容： 研究六自由度激光跟蹤測(cè)量原理與方法， 建立相應(yīng)的數(shù)學(xué)模型， 攻克目標(biāo)捕獲與跟蹤、高精度絕對(duì)測(cè)距、高精度姿態(tài)測(cè)量、數(shù)據(jù)解算、性能校準(zhǔn)與精度補(bǔ)償?shù)汝P(guān)鍵技術(shù)； 研制六自由度激光跟蹤測(cè)量原理樣機(jī)， 在機(jī)器人校準(zhǔn)、飛機(jī)和燃?xì)廨啓C(jī)裝配等領(lǐng)域開(kāi)展試驗(yàn)驗(yàn)證。
考核指標(biāo)： 最大跟蹤測(cè)量半徑30m， 空間坐標(biāo)測(cè)量精度≤ 10ppm， 姿態(tài)測(cè)量精度≤0.03°， 最大跟蹤速度2m/s； 申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥4 項(xiàng)， 至少制定1 項(xiàng)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。
有關(guān)說(shuō)明： 由企業(yè)牽頭申報(bào)， 鼓勵(lì)用戶單位牽頭申報(bào)。
2.16 工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)通信質(zhì)量分析關(guān)鍵技術(shù)
研究?jī)?nèi)容： 研究典型工業(yè)通信協(xié)議的報(bào)文快速分析、在線通信質(zhì)量評(píng)估與分析診斷技術(shù)； 研究強(qiáng)干擾工業(yè)環(huán)境下工業(yè)通信物理層信號(hào)的多參數(shù)測(cè)量、環(huán)境干擾在線評(píng)估與分析診斷技術(shù)； 研制工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)通信質(zhì)量分析儀器， 在制造領(lǐng)域開(kāi)展試驗(yàn)驗(yàn)證。
考核指標(biāo)： 工業(yè)通信協(xié)議分析種類(lèi)≥6 種、工業(yè)以太網(wǎng)通信分析種類(lèi)≥6 種， 通信質(zhì)量分析報(bào)文覆蓋率≥90%； 儀器具備通信物理信號(hào)的電壓差、抖動(dòng)、上升時(shí)間、下降時(shí)間、比特時(shí)間、傳輸速率、傳輸延遲、同步精度等指標(biāo)在線監(jiān)測(cè)功能， 具備數(shù)據(jù)鏈路層時(shí)間同步與MAC 層、傳輸層、網(wǎng)絡(luò)層和應(yīng)用層分析功能， 具備在線設(shè)備列表拓?fù)浔O(jiān)視、錯(cuò)誤報(bào)文率和循環(huán)通信調(diào)度分析等功能。
有關(guān)說(shuō)明： 由企業(yè)牽頭申報(bào)， 鼓勵(lì)用戶單位牽頭申報(bào)。
2.17 功能安全與信息安全融合的儀表共性關(guān)鍵技術(shù)
研究?jī)?nèi)容： 研究?jī)x表功能安全和信息安全融合理論與方法； 突破儀表冗余設(shè)計(jì)、失效診斷、故障控制、安全通信、訪問(wèn)控制、事件及時(shí)響應(yīng)等關(guān)鍵技術(shù)； 研制具有功能信息安全融合能力的變送器/執(zhí)行器等儀表； 在石油、化工、火電等典型行業(yè)開(kāi)展應(yīng)用驗(yàn)證。
考核指標(biāo)： 儀表實(shí)現(xiàn)安全完整性等級(jí)SIL2， 信息安全等級(jí)SL2， 整體診斷覆蓋率≥90% 。
3. 應(yīng)用示范類(lèi)
3.1 工程機(jī)械大扭矩輪轂驅(qū)動(dòng)關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用示范
研究?jī)?nèi)容： 構(gòu)建大扭矩輪轂驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)多變工況下的載荷譜， 研究驅(qū)動(dòng)行星齒輪傳動(dòng)系統(tǒng)集成設(shè)計(jì)方法； 研究輪轂驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)多體動(dòng)力學(xué)及可靠性， 輪轂驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)熱平衡及傳動(dòng)效率； 研究輪轂驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)零部件制造工藝與關(guān)鍵技術(shù)， 在大型工程機(jī)械中應(yīng)用示范。
考核指標(biāo)： 載荷譜數(shù)據(jù)庫(kù)1 個(gè)， 設(shè)計(jì)分析軟件1 套； 大扭矩輪轂驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)扭矩≥1×106N·m， 減速比≥32， 傳動(dòng)效率≥90%； 申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利2 項(xiàng)， 制定技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)或規(guī)范2 項(xiàng)。
有關(guān)說(shuō)明： 由企業(yè)牽頭申報(bào)， 鼓勵(lì)用戶單位牽頭申報(bào)。
3.2 鋁合金承力結(jié)構(gòu)件擠壓鑄造成形技術(shù)及應(yīng)用示范
研究?jī)?nèi)容： 開(kāi)發(fā)適合車(chē)輛承力結(jié)構(gòu)輕量化的鋁合金高性能擠壓鑄造成形關(guān)鍵技術(shù)； 建立鋁合金擠壓鑄造成形材料— 工藝— 組織— 性能仿真模型和測(cè)試平臺(tái)； 建立不同重量、形狀、尺寸的擠壓鑄造產(chǎn)品開(kāi)發(fā)試驗(yàn)平臺(tái)； 研究典型零件輕量化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、工藝優(yōu)化、性能評(píng)價(jià)技術(shù)， 在車(chē)輛制造領(lǐng)域應(yīng)用示范。
考核指標(biāo)： 擠壓鑄造產(chǎn)品開(kāi)發(fā)試驗(yàn)平臺(tái)具備0.05kg～30kg 或投影面積10cm2～3000cm2 承力結(jié)構(gòu)件的擠壓鑄造能力； 鋁合金承力結(jié)構(gòu)件抗拉強(qiáng)度≥280MPa， 屈服強(qiáng)度≥220MPa， 延伸率≥ 8%； 鑄件尺寸精度≥CT6 級(jí)； 形成至少5 種典型承力結(jié)構(gòu)件的擠壓鑄造成形工藝示范生產(chǎn)線。
有關(guān)說(shuō)明： 由企業(yè)牽頭申報(bào)， 鼓勵(lì)用戶單位牽頭申報(bào)。
3.3 工業(yè)儀表制造過(guò)程智能標(biāo)定系統(tǒng)開(kāi)發(fā)及應(yīng)用示范
研究?jī)?nèi)容： 研究壓力和流量等儀表標(biāo)定環(huán)境智能控制技術(shù)及裝置； 研究多批量、多品種儀表自適應(yīng)裝夾， 儀表標(biāo)定系統(tǒng)參數(shù)自配置， 儀表參數(shù)自修正等關(guān)鍵技術(shù)； 研制核心零部件主動(dòng)調(diào)節(jié)的壓力和流量等儀表制造過(guò)程批量化智能標(biāo)定系統(tǒng)。
考核指標(biāo)： 壓力儀表批量標(biāo)定最大允許誤差0.015%， 溫度補(bǔ)償范圍覆蓋-40℃～80℃， 單次溫度補(bǔ)償臺(tái)數(shù)≥50； 流量?jī)x表標(biāo)定系統(tǒng)最大允許誤差0.2%， 單次標(biāo)定臺(tái)數(shù)≥10； 儀表自適應(yīng)裝夾、參數(shù)自配置、參數(shù)自修正總時(shí)間≤5min； 在2 家以上儀表制造企業(yè)開(kāi)展應(yīng)用示范； 申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥6 項(xiàng)。
有關(guān)說(shuō)明： 由企業(yè)牽頭申報(bào)， 鼓勵(lì)用戶單位牽頭申報(bào)。
3.4 芯片封裝缺陷在線視覺(jué)檢測(cè)儀開(kāi)發(fā)及應(yīng)用示范
研究?jī)?nèi)容： 研究自適應(yīng)多模式照明、光學(xué)自動(dòng)對(duì)焦、高速圖像采集與處理、精準(zhǔn)定位與同步控制、圖像配準(zhǔn)與三維重構(gòu)、復(fù)雜缺陷識(shí)別分類(lèi)等關(guān)鍵技術(shù)， 研制高靈敏度半導(dǎo)體芯片封裝缺陷在線視覺(jué)檢測(cè)儀， 開(kāi)展應(yīng)用示范。
考核指標(biāo)： 儀器檢測(cè)靈敏度優(yōu)于0.5μm， 最大檢測(cè)運(yùn)動(dòng)速度100mm/s， 對(duì)變形、裂痕和偏移等主要缺陷檢測(cè)準(zhǔn)確率≥99%； 在2 家以上芯片生產(chǎn)企業(yè)開(kāi)展不少于5 套樣機(jī)的應(yīng)用示范； 至少形成1 項(xiàng)芯片封裝缺陷視覺(jué)檢測(cè)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥4 項(xiàng)。
有關(guān)說(shuō)明： 由企業(yè)牽頭申報(bào)， 鼓勵(lì)用戶單位牽頭申報(bào)。
